Sensorlarning umumiy turlari

Rezistiv tur
Rezistiv sensor - bu o'lchangan jismoniy miqdorlarni, masalan, siljish, deformatsiya, kuch, tezlanish, namlik, harorat va boshqalarni qarshilik qiymatlariga aylantiradigan qurilma. Asosan rezistiv kuchlanish sensorlari, piezorezistiv sensorlar, termal sensorlar, termal sensorlar, gaz sensorlari, namlik sensorlari va boshqa qarshilik sensorlari mavjud.
Qarshilik kuchlanish o'lchagichi
Datchikdagi qarshilik kuchlanish o'lchagichi metall deformatsiya ta'siriga ega, ya'ni tashqi kuch ta'sirida mexanik deformatsiyani keltirib chiqaradi, shuning uchun qarshilik qiymati mos ravishda o'zgaradi. Qarshilik kuchlanish o'lchagichning asosan ikki turi mavjud: metall va yarim o'tkazgich. Metall kuchlanish o'lchagichni sim turiga, folga turiga va kino turiga bo'lish mumkin. Yarimo'tkazgichli kuchlanish o'lchagichi yuqori sezuvchanlik (odatda sim turi va folga turidan o'nlab marta) va kichik transvers effektning afzalliklariga ega.
Piezorezistiv turi
Piezorezistiv sensor - yarimo'tkazgich materialining piezorezistiv ta'siriga ko'ra, yarimo'tkazgich materialining substratiga qarshilikni tarqatish orqali qilingan qurilma. Substrat to'g'ridan-to'g'ri o'lchov sensori elementi sifatida ishlatilishi mumkin va diffuziya qarshiligi elektr ko'prigi shaklida substratga ulanadi. Substrat tashqi kuchlar ta'sirida deformatsiyaga uchraganda, qarshilik qiymatlari o'zgaradi va ko'prik mos keladigan muvozanatsiz chiqishni hosil qiladi.
Piezorezistiv datchiklar uchun ishlatiladigan substrat (yoki membrana) materiallari asosan silikon gofret va germaniy gofretdir. Nozik materiallar sifatida kremniy gofretlardan tayyorlangan kremniy piezorezistiv sensorlar, ayniqsa, bosim va tezlikni o'lchaydigan qattiq{1}}holatdagi piezorezistiv datchiklar tobora ortib bormoqda.
Termal qarshilik
Issiqlik qarshiligining haroratini o'lchash metall o'tkazgichning qarshilik qiymati haroratni o'lchash uchun harorat oshishi bilan ortib borishi xususiyatiga asoslanadi. Ko'pgina termal rezistorlar sof metall materiallardan tayyorlanadi, platina va mis eng ko'p ishlatiladi. Bundan tashqari, nikel, marganets va rodiy kabi materiallar termal rezistorlar ishlab chiqarish uchun ishlatila boshlandi.